技術規(guī)格
| 參數/型號 | SCI00532 | |
| 控制器 | SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B | |
| 夾具型號 | SCI-01 | |
| 光斑大小 | 7μm | 14μm |
| 工作距離 | 25mm | |
| 測量范圍 | 0.5mm | |
| 分辨率 | 0.006μm | |
| 直線性 | ±0.2μm | |
| 角度特性 | ±32° | |
| 最小可測量透明物體厚度 | 20μm | |
| 直徑 | 53mm | |
| 長度 | 159.7mm | |
| 重量 | 535g | |
| 參數/型號 | SCI00532 | |
| 控制器 | SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B | |
| 夾具型號 | SCI-01 | |
| 光斑大小 | 7μm | 14μm |
| 工作距離 | 25mm | |
| 測量范圍 | 0.5mm | |
| 分辨率 | 0.006μm | |
| 直線性 | ±0.2μm | |
| 角度特性 | ±32° | |
| 最小可測量透明物體厚度 | 20μm | |
| 直徑 | 53mm | |
| 長度 | 159.7mm | |
| 重量 | 535g | |