晶圓片平整度檢測
客戶痛點與需求
晶圓片的平整度不足會導致封裝過程的熱應力發(fā)生變化，影響芯片的正常使用，因此對晶圓片表面光潔度的要求都非常高。采用深視智能高精度位移傳感器SG5000系列，支持鏡面反射型安裝，可在晶圓片上多點取值判斷平整度。
優(yōu)勢&特點
01SG系列最高采樣頻率可達590kHz
02靜態(tài)重復精度可達0.02μm
03光亮自動調節(jié)，適用各種檢測環(huán)境